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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8寸大晶圆生產线相互配套的超去离子水系统化,没天会产生含硅污水150吨。污水里面的虽无血本属,但硅成分高易积垢,且电容率需高于18MΩ·cm才会使用。多余除理工学院艺尚未实现新施行的《电子元器件制造业水污染问题物直接排放物基准》(GB39731-2020)非常直接排放物最大限度。 生活污水的成分特质 重点环境破坏物 :橡胶胶体部分硅(200-300mg/L)、粒子硅(粒度分布0.1-1μm) 特俗要 :TOC<10μg/L,硼含磷量<5μg/L 水环境因素 :低电阻率(<50μS/cm)但硅化学物质形状很复杂 工作鑫霖环保步骤流程 科学创新适用"梯级膜溶合+电去正离子"组和加工制作工艺 : 微滤预工作 :1μm工业陶瓷膜屏蔽短信大颗粒剂硅,通量提升80LMH 阴阳离子互换环氧树脂 :D201大孔环氧树脂选用性吸附剂硅酸原子核 二次RO机系统 :第1段二手回回收利用率60%,第二种段选取高脱硼膜部件 EDI电去铝离子 :直流电压密度单位2A/m²,持续性剔除多余正离子 太阳光的紫外线灭菌 :254nm分光光度计线残留量40mJ/cm² 技能优点 开放专用型阻硅剂(有机的胺类塑料物),廷缓膜造成的污染周期时间3倍 EDI信息模块革新流道设计构思,硅弄掉率升级至99.8% 百度在线硅介绍仪(检测面积0.1-500μg/L)实行识贫把控好 开机运行阶段性成果 经第二方检验: 总硅从280mg/L降为0.05mg/L 硼硫含量从8μg/L下降0.3μg/L 系統收购 率从原40%上升至68% 膜更換时间间隔拉长至5年,年使用投资成本大幅度降低35%

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