某半导体材料心片研发厂在晶圆制作的时候中，用到硅烷使用硅外加发展，废气洗滌塔造成氨基磺酸镍值含硅废气。废气具备着pH跌涨大（2-11）、硅含氧量高的优势特点，常用整理方式易突然出现硅垢闭塞问题。 化工废水材质及源头 废水处理工艺首要因素为： 可溶性高，溶于水的性硅酸盐 ：SiO₂氨水浓度达1000-1500mg/L 硫酸钠/氢腐蚀钠 ：干洗塔酸性干洗液杂质 粒子硅 ：纳米级级SiO₂悬浊液 痕量砷 ：辅料溶物带往 加工施工顺序施工顺序 革新用"多级中合+膜过虑+减压蒸馏成果"加工： 1阶段与 ：用CaO自动调节pH至4-5，制成硅酸钙水解，硅洗去率60%。 五级结合 ：加Na₂CO₃将pH升级至9，进一大步水解余下硅，串并联用镁剂除砷。 反渗透装置平台 ：0.02μm陶瓷图片膜过滤程序纳米级级硅颗料，通量不稳在80LMH。 MVR多效空调蒸发器 ：浓缩液高盐电镀废水，凝结出Na₂SO₄副企业产品，水使用率超90%。 最终能够效用 总硅从1500mg/L调至5mg/L这 砷含量的从0.8mg/L降落到0.01mg/L 软件无积灰作业超出2年 每一年的收购氢氧化钠钠结晶体约800吨