郑州某半导体行业解决芯片存在厂,晶圆生产方式中存在含硅、氟的特有电镀废污水,装修设计解决人数1200吨/日。电镀废污水营养成分缜密,有纳米技术级硅小粒及氢佛酸,传统化解决方式 很难标准。
废污水化学成分及特征
最主要的空气大气污染物
:固体硅(100-500nm比表面积)、氟阴离子(200-300mg/L)、异丙醇
源于步骤
:晶圆刻蚀污废液 (45%)、CMP电学机制抛光剂污废液 (40%)、设备清洁水(15%)
清理工艺技术具体步骤
什么是创新主要采用"生物发展+劳动防护膜分离处理"技术应用线路:
钙盐水解
:加药氯化钙清除氟正离子(绘制CaF2奠定)
水解酸化池反响
:符合二沉池剂保持电解质溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm内径膜挪作他用微细颗粒剂
反参透系统软件
:脱盐率>98%,收废率75%
减压蒸馏沉淀
:浓水段保证氟化物0排放口
最后视觉效果
氟化物浓硫酸浓度:<8mg/L(大于地区七级条件10mg/L)
硅分子量:<5mg/L
水教育资源工业废水处理率:70%用作待冷水塔保湿补水
垃圾回收利用:化掉杂质量较过去的生产工艺才能减少60%